ジュール熱加振技術による架橋グラフェンの共振特性の評価と共振振幅の比較

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS23027

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2023/06/27

タイトル(英語): Evaluation of Resonance Characteristics of Suspended Graphene using Joule Heating Technique and Comparison of Resonance Amplitude

著者名: Pham Viet Khoa(豊橋技術科学大学),秋田 一平(国立研究開発法人産業技術総合研究所),崔 容俊(豊橋技術科学大学),野田 俊彦(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Viet Khoa Pham(Toyohashi University of Technology),Ippei Akita(National Institute of Advance Industrial Science and Technology),Yong-Joon Choi(Toyohashi University of Technology),Toshihiko Noda(Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology),Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology)

キーワード: グラフェン|共振器|共振特性|レーザー励起加振|電流駆動加振|静電駆動加振|graphene|resonator|resonance characteristics|opto-thermal excitation|electro-thermal excitation|electrostatic excitation

要約(日本語): 本研究室で提案しているグラフェン共振器はその駆動にレーザーを用いていたため小型化が困難であり，消費電力も高いという欠点があった．そこで，小型かつ低消費電力のバイオセンサに向け，グラフェン共振器を電気的に駆動するジュール熱加振技術を提案した．本報告では，ジュール熱加振による架橋グラフェンの共振特性を評価し，他の加振技術として従来のレーザー加振および静電駆動による共振特性との比較を行った．

要約(英語): We have proposed a graphene-based resonator using opto-thermal excitation technique. However, due to the need for a bulky optical system, downsizing is difficult. Therefore, we proposed an electro-thermal excitation technique for graphene resonators for compact and low-power biosensors. In this study, we evaluated the resonance characteristics of suspended graphene using electro-thermal excitation and compared with other excitation techniques.

本誌: 2023年6月30日-2023年7月1日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 29-31 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,209 Kバイト