Force Rebalance制御をともなった静電式共振型加速度センサのシミュレーションによる動作検証

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS23029

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2023/06/27

タイトル(英語): Simulation Verification of an Electrostatic Resonant Accelerometer with Force-Rebalance Control

著者名: 近藤 大暉(名城大学),畑 良幸(名城大学)

著者名(英語): Daiki Kondo(Meijo university),Yoshiyuki Hata(Meijo university)

キーワード: 共振型加速度センサ|Ｆｏｒｃｅ　ｒｅｂａｌａｎｃｅ|Ｑ値|応答性|Resonant accelerometer|Force rebalance|Q-factor|Response

要約(日本語): 応答性向上を目指したForce Rebalance制御をともなった静電式共振型加速度センサを提案する。本センサは逆相に励振する2マスからなり、加速度印加時の共振周波数を一定に保つ制御電圧がセンサ出力となる。本研究では、本センサのシステムモデルを作成し、シミュレーションによる動作確認と応答性検証を行った。ステップ応答時の最終値の±5%となる整定時間は1 ms程度となった。

要約(英語): This paper proposes an electrostatic resonant accelerometer with force-rebalance control. The sensor is composed of two masses resonating in opposite phase, and the sensor output is control voltage that keeps resonant frequency constant. In this study, the operation and response time were simulated. The simulation of step response showed the settling time to within ±5% of its final value is about 1 ms.

本誌: 2023年6月30日-2023年7月1日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 37-41 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,070 Kバイト