高精度化に向けたForce Rebalance制御とデカップリング構造をともなった高Q値2軸加速度センサの構想提案と検証デバイスの作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS23030

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2023/06/27

タイトル(英語): Proposal of a High Q-factor 2-Axis Accelerometer with Force-Rebalance Control and Decoupling Structure for High Accuracy and Fabrication of Verification Device

著者名: 武田 悠吾(名城大学),川野 遥暉(名城大学),畑 良幸(名城大学)

著者名(英語): Yugo Takeda(Meijo university),Haruki Kawano(Meijo university),Yoshiyuki Hata(Meijo university)

キーワード: 加速度センサ|Ｑ値|デカップリング構造|Ｆｏｒｃｅ　ｒｅｂａｌａｎｃｅ|アラン分散|Ｖｅｌｏｃｉｔｙ　ｒａｎｄｏｍ　ｗａｌｋ|Accelerometer|Q-factor|Decoupling structure|Force rebalance|Allan variance|Velocity random walk

要約(日本語): 加速度センサの高精度化に向けて、高Q値下におけるForce Rebalance制御とデカップリング構造をともなった2軸加速度センサの構想を提案する。また、将来的な高Q値化によるメカノイズの低減とForce Rebalance制御による応答性向上の検証に向けて、検証デバイスを設計及び作製した。作製したデバイスを大気圧下で動作検証した結果、感度は190 mVrms/gであり、アラン分散の総Velocity Random Walkは約5 ug/√Hzとなった。

要約(英語): This paper proposes a concept of a 2-axis accelerometer with force-rebalance control and decoupling structure under high Q-factor for high accuracy. In addition, a verification device was fabricated for future verifications of them. The working test of the fabricated device under atmospheric pressure showed the sensitivity of 190 mVrms/g and the total velocity random walk of about 5 ug/√Hz.

本誌: 2023年6月30日-2023年7月1日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 43-47 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,808 Kバイト