照射光多点分配のためのメタサーフェス光学素子の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS23032

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2023/06/27

タイトル(英語): Metasurface Optical Elements for Multi-point Distribution of Irradiated Light

著者名: 池沢 聡(早稲田大学),藤田 真由(東京農工大学),岩見 健太郎(東京農工大学)

著者名(英語): Satoshi Ikezawa(Waseda University),Mayu Fujita(Tokyo University of Agriculture and Technology),Kentaro Iwami(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: メタサーフェス|レーザー計測|近赤外光|ビーム成型|メタレンズ|レーザー誘起ブレークダウン分光|Metasurface|Laser Measurement|Near Infrared|Beam Shaping|Metalens|Laser-induced Breakdown Spectroscopy

要約(日本語): 本発表では，近赤外分光計測装置用に開発された多点集光メタレンズについて報告する。本研究で使用されるメタレンズの材料には単結晶シリコンを使用し，近赤外域において優れた透過性を有し，高強度レーザーへの耐性があるものと見込まれる。本メタレンズは厚さが１μm未満で薄く，多点分離、ビーム分配、集光の３機能を融合した光学素子である。測定の結果，４点の集光を確認し，設計通りの多点集光機能があることを実証した。

要約(英語): This paper reports on a multi-point focusing meta-lens developed for a near-infrared spectroscopy system. The meta-lens material used in this study is single-crystal silicon, which is expected to have excellent transmission in the near-infrared region and resistance to high-intensity lasers. The meta-lens is thin, with a thickness of less than 1 μm, and is an optical element that combines the three functions of multipoint separation, beam distribution and focusing. The measurement results confirmed the four-point focusing and demonstrated that it has a multi-point focusing function as designed.

本誌: 2023年6月30日-2023年7月1日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 49-53 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,945 Kバイト