Si カンチレバー上のナノダイヤモンドによる静磁場下多軸応力センシング

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS23037

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2023/06/27

タイトル(英語): Nano-diamond on Si cantilever based multi-dimensional stress sensing under static magnetic field

著者名: 山川 幹太(東北大学),落合 宥太(東北大学),小野 崇人(東北大学),戸田 雅也(東北大学)

著者名(英語): Kanta Yamakawa(Tohoku University),Yuta Ochiai(Tohoku University),Takahito Ono(Tohoku University),Masaya Toda(Tohoku University)

要約(日本語): 従来のカンチレバー型フォースプローブでは1軸方向の力しか検出できないが，今回，Siカンチレバー上に窒素欠陥カラーセンターを有するナノダイヤモンドを固定し、多軸方向の力を同時検出可能なセンサを開発した。カンチレバーを振動させることで表面のナノダイヤモンド応力を印加し，蛍光強度スペクトルを測定した結果，カンチレバーのビーム方向とねじれによるの応力に起因するピークシフトが確認された．

要約(英語): In case using cantilever-type force probes, only forces in one direction is detected. In this study, a cantilever probe has been developed by fixing a nano-diamond containing nitrogen vacancy color centers-onto a Si cantilever, which allows for simultaneous detection of forces in multiple directions. By vibrating the cantilever and applying surface stress on the nano-diamond, peak shifts were observed in the fluorescence intensity spectrum due to stress caused by the beam direction and twisting of the cantilever.

本誌: 2023年6月30日-2023年7月1日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 63-66 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,596 Kバイト