多軸触覚センサのための検知素子の位置最適化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS23038

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2023/06/27

タイトル(英語): Position optimization of sensing elements for multi-axis tactile sensors

著者名: 若林 陽彩(新潟大学),門田 秀人(新潟大学),安部 隆(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学)

著者名(英語): Hiiro Wakabayashi(Niigata University),Hideto Kadota(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University),Masayuki Sohgawa(Niigata University)

キーワード: 触覚センサ|カンチレバー|多軸方向|ＭＥＭＳ|位置最適化|tactile sensor|cantilever|multi-axial|MEMS|positional optimization

要約(日本語): 我々はこれまで、垂直・せん断双方の荷重に対して感度を持つ触覚センサの開発を行ってきた。本研究では、検知素子(カンチレバー)の位置と感度の関係を有限要素法により解析し、垂直・せん断荷重それぞれに対して最適な位置を見出した。その結果に基づき、垂直・せん断荷重それぞれに感度が高い検知素子を備えたセンサを試作したところ、解析通りの感度が得られ、より高精度な多軸方向の荷重検知が可能となることが期待される。

要約(英語): In this study, the relationship between the position of the cantilever as a sensing element and the sensitivity of the tactile sensor was analyzed to find the optimal position for normal and shear forces. The fabricated tactile sensor based on the analysis shows the sensitivity as analyzed and it is expected that highly accurate multi-axial force detection will be possible.

本誌: 2023年6月30日-2023年7月1日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 67-70 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,137 Kバイト