7x7 SMA厚膜アクチュエータアレイMEMS触覚ディスプレイの形成とフレキシブル化のための基板分離法の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS23040

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2023/06/27

タイトル(英語): Fabrication of MEMS tactile display with 7x7 SMA thick film actuator array and examination of substrate separation method for flexible device

著者名: 田村 晴紀(山形大学),天野 晏年(山形大学),齋藤 涼(山形大学),峯田 貴(山形大学)

著者名(英語): Haruki Tamura(Yamagata University),Haruto Amano(Yamagata University),Ryo Saito(Yamagata University),Takashi Mineta(Yamagata University)

キーワード: 触覚ディスプレイ|形状記憶合金|ＭＥＭＳ|７ｘ７|フレキシブル化|電解エッチング|Tactile display|Shape memory alloy |MEMS|7x7|Flexible|Electrolytic ecthing

要約(日本語): 指先への触覚刺激の広範囲化のため、49素子(7×7)に増加したSMA厚膜アクチュエータアレイ（1.5mmピッチ）を作製し，広範囲で均一に皮膚に触感を与えるのに十分な振幅を得た。また、SU-8製のピンとキャップ層とSMA層の接合と高速剥離によって、触覚ディスプレイを良好に作製できた。触覚ディスプレイのフレキシブル化に向けて、Cu基板を電解エッチングし各素子に分離する手法についても検討した。

要約(英語): 7x7 SMA thick film actuator array was fabricated. Sufficient amplitudes for tactile sensation were uniformly obtained in the large area. After a pin and cap array was bonded to the SMA actuator array, the high-speed releasing was established. Multi-element tactile display was successfully fabricated. Moreover, electrolytic etching of Cu substrate was examined to separate into each element.

本誌: 2023年6月30日-2023年7月1日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 75-78 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,732 Kバイト