SMA厚膜型せん断振動触覚ディスプレイのためのSU-8ばね機構の一括形成法の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS23041

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2023/06/27

タイトル(英語): Development of batch-fabrication method of SU-8 spring mechanism for shearing-motional tactile display with SMA thick film actuator array

著者名: 清水 広人(山形大学),佐藤 勇人(山形大学),峯田 貴(山形大学)

著者名(英語): Hiroto Shimizu(Yamagata univercity),Hayato Sato(Yamagata univercity),Takashi Mineta(Yamagata univercity)

キーワード: せん断振動|触覚ディスプレイ|形状記憶合金|ばね機構|高アスペクト比|ＳＵ－８|Shear-vibration|Tactile display|Shape memorial alloy|Spring mechanism|High-aspect-ratio|SU-8

要約(日本語): 形状記憶合金(SMA)厚膜アクチュエータアレイ(5×5, 1.5mmピッチ)と初期変位を与えるコイルばねを組み合わせてせん断振動型触覚ディスプレイを形成し、5-15 Hzでの振動では明確に刺激を感知できることがわかったが、触れる際にデバイスのピンが破損しやすかった。そこで、より柔軟で破損しにくい構造を目指し、SMA厚膜への初期変位を与える機構部を高アスペクト比SU-8のばね機構の一括形成法の開発に取り組んだ。

要約(英語): A shear-vibration tactile display was fabricated using an arrayed SMA thick film actuators and coil springs for initial deformation of the SMA. Although the device was able to clearly present stimuli when vibrating at 5-15 Hz, the pins were easily fracture during touching. In order to form a tactile display with flexible structure, batch-fabrication method of high-aspect-ratio SU-8 spring mechanism was developed.

本誌: 2023年6月30日-2023年7月1日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 79-82 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,333 Kバイト