磁気ばね特性を考慮したリニアスライダの非線形制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT23078

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2023/06/28

タイトル(英語): Nonlinear control of linear slider considering position dependance of magnetic spring characteristics

著者名: 山田 貴斗(東京農工大学),保科 友哉(東京農工大学),鄧 明聡(東京農工大学)

著者名(英語): Takato Yamada(Tokyo University of Agriculture and Technology),Tomoya Hoshina(Tokyo University of Agriculture and Technology),Mingcong Deng(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: オペレータ理論|右既約分解|非線形制御|リニアモータ|ステージ位置|実験|Operator theory|Right coprime factorization|Nonlinear control|Linear motor|Position of stage|Experiment

要約(日本語): 現在、半導体デバイスの需要拡大により半導体を製造する機械の制御が重要視されている。そのため、半導体製造ステージを高速・高精度に位置決めする技術が必要とされている。本研究では磁気ばね特性による非線形特性に対して磁気ポテンシャルエネルギーを用いることで数理モデルとして表現した。そのモデルに対してオペレータ理論に基づく非線形制御系設計を行い、設計した制御系の有効性をシミュレーション、実機実験で確認した。

要約(英語): The control of the machines used to manufacture semiconductors is important due to the increasing demand for semiconductor devices. Therefore, technology for high-speed, high-precision positioning of semiconductor manufacturing stages is needed. In this paper, the nonlinear properties due to the magnetic spring characteristic are expressed as a mathematical model by using magnetic potential energy by transforming the linear model using Lagrange’s equations of motion. By using the model, operator based nonlinear position control is considered. The effectiveness of the control design is confirmed by simulation and actual experiment.

本誌: 2023年7月1日制御研究会

本誌掲載ページ: 19-24 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 879 Kバイト