Fe/Al2O3ターゲットへのYAGレーザ照射による積層磁性膜の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG23070

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2023/08/05

タイトル(英語): Multi-layered magnetic films prepared by irradiation of Fe/Al2O3 composite targets using YAG laser

著者名: 加来 響(長崎大学),山口 明華(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Hibiki Kaku(Nagasaki University),Haruka Yamaguchi(Nagasaki University),Akihiro Yamashita(Nagasaki University ),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)

キーワード: ＰＬＤ|多周期積層膜|Ａｌ－Ｏ膜|軟磁性材料|Pulsed Laser Deposition|multi-layered|Al-O film|soft magnetic material

要約(日本語): すでに我々は，スパッタリング法に比べ，多周期積層化に有利なPLD法を用い，100層を超える金属とガラスの積層膜を報告した。しかし，一部にガラスの粗大粒子が含まれ，試料全体に均質な積層構造を形成することは困難であった。本研究では，ガラスに比べビッカーズ硬度や融点が高く，粗大粒子の発生の抑制が期待されるAl2O3を用い、多周期積層膜の作製を検討し，成膜速度，表面形態，更には磁気特性を中心に報告する。

要約(英語): In the report, we attempted to fabricate multi-layer structure with 100 layers by PLD (Pulsed Laser Deposition) method using a rotated composite of Fe and Al2O3 target. Furthermore, we also report the surface observation and magnetic properties of the obtained samples.

本誌: 2023年8月8日-2023年8月9日マグネティックス研究会

本誌掲載ページ: 25-29 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 635 Kバイト