LIFT法を用いた磁性膜の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG23073

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2023/08/05

タイトル(英語): Magnetic films prepared by using LIFT technique

著者名: 福田 樹(長崎大学),東 倖主(長崎大学),田原 楽飛(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Itsuki Fukuda(Nagasaki University),Kosuke Higashi(Nagasaki University),Gakuto Tahara(Nagasaki University),Akihiro Yamashita(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)

キーワード: ＬＩＦＴ法|Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ系磁石膜|Ｆｅ系磁石膜|低温プロセス|ガルバノミラー|LIFT technique|Nd-Fe-B magnet films|Fe magnet films|low temperature process|galvanometer mirror

要約(日本語): 本研究では, 比較的新規な成膜方法であるLIFT法を用いた磁性膜（Fe，Nd-Fe-B系磁石膜）の作製を検討した。その中で，例えば，代表的な磁石膜であるNd-Fe-B系磁石膜を PLD法やスパッタリング法で作製する際には，結晶化温度である630 ℃以上の高温での熱処理が必要であるのに対し，LIFT法ではその温度の低減が期待できるためである。発表では，作製装置の開発や成膜条件の最適化を中心に報告する。

要約(英語): Here, we have prepared magnetic films by LIFT technique. Although an annealing process with high temperature has been required to obtain PLD-made and sputtering-made Nd-Fe-B films, the LIFT technique is a hopeful candidate to reduce the annealing temperature. This presentation reports the preparation of equipment and optimization of deposition conditions.

本誌: 2023年8月8日-2023年8月9日マグネティックス研究会

本誌掲載ページ: 43-46 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,248 Kバイト