ダブルデッキ構造とジャンパ配線を一体化したエレクトレット型振動発電素子の発電性能評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS23046,BMS23023

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2023/08/15

タイトル(英語): Evaluation of power generating from electret vibrational energy harvester combined with double-deck structures and airborne electrical interconnection

著者名: 本間 浩章(東京大学),年吉 洋(東京大学)

著者名(英語): Hiroaki Honma(The University of Tokyo),Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo)

キーワード: 振動発電素子|エレクトレット|小型化|空中配線|Vibrational energy harvester|electret|Miniaturization|Airborne electrical interconnection

要約(日本語): エレクトレット被膜した櫛歯電極をSOI基板のデバイス層に配置し、弾性バネをハンドル層に形成したダブルデッキ型の静電MEMS振動発電素子を構成して、ワイヤーボンディングによるジャンパ配線で誘導電流を回収することで寄生容量を削減した。本論文では振動試験により発電性能を検証し、最適負荷8 MΩ接続時に加速度0.6 G、周波数160 Hzの振動を入力すると61 μWの発電電力が得られることを実証した。

要約(英語): Airborne wiring is used to reduce the parasitic capacitance in a double-deck MEMS electret vibrational energy harvester, in which electrodes and suspensions are respectively made in the active and the handle layers of an SOI wafer. The output power of 61 μW is obtained under 0.6 G at 160 Hz when the optimal resistance of 8 MΩ is loaded.

本誌: 2023年8月18日マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 11-15 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 5,298 Kバイト