伸縮性可変カラーシートに向けたエラストマーシートへの プラズモニックメタサーフェス構造転写のプロセス

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS23047,BMS23024

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2023/08/15

タイトル(英語): Development of transfer process of plasmonic metasurface to elastomer nanosheet toward stretchable tunable color sheet

著者名: 大石 匠真(豊橋技術科学大学),渡邉 守(豊橋技術科学大学),齋藤 優人(東京工業大学),藤枝 俊宣(東京工業大学),崔 容俊(豊橋技術科学大学),野田 俊彦(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Takuma Oishi(Toyohashi University of Technology),Mamoru Watanabe(Toyohashi University of Technology),Masato Saito(Tokyo Institute of Technology),Toshinori Fujie(Tokyo Institute of Technology),Yong-Joon Choi(Toyohashi University of Technology),Toshihiko Noda(Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology),Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 表面プラズモン|ＳＢＳナノシート|エラストマーナノシート|２回転写プロセス|Surface plasmon|SBS nanosheet|Elastomer nanosheet|Process based on double transfer

要約(日本語): 本研究では、伸縮性可変プラズモニックカラーシートの作製に向け、膜厚200 nmのエラストマーナノシート上に金属ナノ周期構造を作製するプロセス技術の開発を行った。エラストマーナノシートはナノ構造加工時の収束イオンビームによって弾性が失われることから、エラストマーへのプロセスダメージを回避するため、FIB加工時にレジストを犠牲層としたナノ構造転写プロセスを行い、転写されたナノ構造由来の構造色取得に成功した。

要約(英語): We developed metal nano periodic structures on a 200-nm-thick elastomer nanosheet for stretchable tunable plasmonic color sheets. To avoid process damage due to focused ion beam process, nanostructure transfer process using sacrificial etching was performed. _x000D_ As a result, structural color derived from transferred nanostructures was successfully demonstrated._x000D_

本誌: 2023年8月18日マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 31-32 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 615 Kバイト