回転放物面鏡を対向させた立体投影露光光学系を用いた 立体面投影露光リソグラフィの検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LAV23009

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 光応用・視覚研究会

発行日: 2023/08/26

タイトル(英語): Stereophonic Projection Lithography Using a Projection Exposure Optics Composed of Faced Parabolic Mirrors

著者名: 堀内 敏行(東京電機大学),岩崎 順哉(東京電機大学),小林 宏史(東京電機大学)

著者名(英語): Toshiyuki Horiuch(Tokyo Denki University),Jun-ya Iwasaki(Tokyo Denki University),Hiroshi Kobayashi(Tokyo Denki University)

キーワード: 立体面投影露光　|放物面ミラー|大パターン|マジックミラー|曲面露光|コリメート照明|Stereophonic projection exposure|Parabolic mirror|Rough pattern|Magic mirror|Patterning on curved surfaces|Collimated illumination

要約(日本語): 回転放物面鏡を上下に対向させて上ミラーの中心に開口を設け、下ミラーの底部に物体を置くと、上からの照明光により、その立体像が上ミラーの開口にできる仕組みがマジックミラーとして知られている。本研究では、下ミラーにも開口を設け、パターンを有する透過曲面レチクルを置いて下から照明し、上ミラーの開口にレジストを塗布した同形状の被露光物を置いて投影露光を試みた。立体面へのリソグラフィ技術として開発予定である。

要約(英語): Projection lithography using a pair of parabolic mirrors for printing rough patterns on arbitrarily curved surfaces was investigated. Patterns on a curved transparent reticle placed in the lower mirror aperture were replicated on articles settled at the upper mirror aperture. Patterning feasibility was demonstrated, and field distortions were discussed.

本誌: 2023年8月29日光応用・視覚研究会

本誌掲載ページ: 11-14 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 677 Kバイト