高速度カメラを用いた150 kHz 帯大電力パルスバースト型高周波放電の観測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP23074

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2023/10/02

タイトル(英語): Observation of 150 kHz band high power pulse burst high-frequency discharge using a high speed camera

著者名: 高橋 直宏(岩手大学),末永 光(岩手大学),一井 元太(岩手大学),高橋 克幸(岩手大学),向川 政治(岩手大学),高木 浩一(岩手大学)

著者名(英語): Naohiro Takahashi(Iwate University),Hikaru Suenaga(Iwate University),Genta Ichii(Iwate University),Katsuyuki Takahashi(Iwate University),Seiji Mukaigawa(Iwate University),Koichi Takaki(Iwate University)

キーワード: 高速度カメラ|パルスプラズマ|バーストプラズマ|High speed camera|pulsed plasma|burst mode

要約(日本語): 150kHz帯大電力パルスバースト型Ar高周波放電の特性を調べた。その結果，プラズマ生成に伴い，リアクタ全体の等価インピーダンスが減少することが分かった。高速度カメラを用いた放電様相を観測したところ，放電開始時にリアクタ内壁側から中心方向へ進展する様子がみられた。また、下流方向への放電進展を撮影し，進展速度を算出した。その結果，進展速度は圧力増加に対して減少し，投入電力増加に対して増加した。

要約(英語): The characteristics of high-power pulse-burst Ar high-frequency discharges in the 150 kHz band were investigated. A high speed camera was used to capture images of the discharge process. The results showed that the propagation velocity decreased with increasing pressure and increased with increasing power.

本誌: 2023年10月5日放電・プラズマ・パルスパワー研究会

本誌掲載ページ: 1-5 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,880 Kバイト