ECRプラズマ作製におけるCu/Cu2O-PVセル特性の 背面電極の効果

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP23081

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2023/10/02

タイトル(英語): Effect of back-electrode on properties for Cu/Cu2O-PV cell by ECR plasma fabrication

著者名: 横瀬 太洋(茨城大学),佐藤 直幸(茨城大学)

著者名(英語): Taiyo Yokose(Ibaraki University),Naoyuki Sato(Ibaraki University)

キーワード: グリーンプロセス　　　|ＥＣＲプラズマ作製|ショットキー接合　|Ｃｕ／Ｃｕ２Ｏ－ＰＶセル|背面電極|真空特性|green processing|ECR plasma fabrication|Schottky junction|Cu/Cu2O-PV cell|back electrode|vacuum property

要約(日本語): 銅シートにECR放電型の低気圧酸素プラズマを照射して，酸化銅と銅シートの界面にショットキー接合型の太陽電池（PVセル）を作製している．効率向上を目指して，磁化プラズマ適用によるメサ構造を狙い，酸化銅側から光を導入するback-wall型のPV特性を真空中で計測している．_x000D_ 銅シート基材を固定し電極とするためタングステンの爪を用いてきた．これまでプラズマ照射時には，銅面から面に沿って漏れてくるプラズマが爪に触れてしまい，電子衝撃加熱を強めるため爪に数百ボルトを印加すると新たに爪と銅の接触付近に直流プラズマが発生し，これを制御できない状態で，銅基材の加熱を行ってきた．_x000D_ 今回は，新たにセラミックホルダを接触付近に重ねプラズマが銅面にのみ照射される様，背面電極の配置を工夫した．これによって，PVセルのVocとIsc等に現れた結果を報告する．

要約(英語): Schottky junction solar cells (PV cells) are fabricated at the interface between copper oxide and copper sheets by irradiating copper sheets with low-pressure oxygen plasma of the ECR discharge type. In order to improve the efficiency, a mesa structure is formed by applying magnetized plasma, and back-wall PV characteristics are measured in vacuum by introducing light from the copper oxide side.

本誌: 2023年10月5日放電・プラズマ・パルスパワー研究会

本誌掲載ページ: 33-37 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,439 Kバイト