プラズマ中NHラジカル密度と鉄中Nドープ量の相関

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP23083

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2023/10/02

タイトル(英語): Correlation of NH Density in Plasma and N Doping into Iron

著者名: 市來 龍大(大分大学),立花 孝介(大分大学),古木 貴志(大分大学),金澤 誠司(大分大学)

著者名(英語): Ryuta Ichiki(Oita University),Kosuke Tachibana(Oita University),Takashi Furuki(Oita University),Seiji Kanazawa(Oita University)

キーワード: プラズマ窒化|ＮＨラジカル|レーザー誘起蛍光法|plasma nitriding|NH radical|LIF

要約(日本語): 自動車技術で多用されるプラズマ窒化処理の分野でNHラジカルの重要性が言われてきた。今回我々はNHと窒化能の相関を調査するため，N2-H2大気圧プラズマジェット中のNH密度をレーザー誘起蛍光法で測定し，鉄表面にドープしたN濃度と比較した。その結果NH密度およびN濃度は，動作ガスの水素分圧増加に対し減衰定数が極めて近い指数関数減衰を示すことが分かった。これはNHと窒化能の定量的相関を示す世界初の結果である。

要約(英語): We measure NH density in the N2-H2 plasma jet using LIF to compare the N concentration doped into the iron surface. As a result, the NH density and the N concentration both exhibits exponential decay with very similar decay constant with respect to the H2 fraction in the operating gas.

本誌: 2023年10月5日放電・プラズマ・パルスパワー研究会

本誌掲載ページ: 39-40 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 889 Kバイト