パワーサイクル劣化を検出するセンサデバイスの機械的ストレス依存性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EDD23057,SPC23240

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス/【D】産業応用部門 半導体電力変換合同研究会

発行日: 2023/10/23

タイトル(英語): Mechaniclal stress dependence of a sensor device for detection of power cycle degradation

著者名: 山北 祐輝(九州大学),大亀 幸樹(九州大学　),西澤 伸一(九州大学),齋藤 渉(九州大学)

著者名(英語): Yuki Yamakita(Kyushu University),Kouki Okame(Kyushu University ),Shinichi Nishizawa(Kyushu University),Kouki Okame(Kyushu University)

キーワード: パワーサイクル劣化|パワー半導体|ＭＩＳ構造|絶縁膜|機械的ストレス|モニタリング|Power Cycle Degradation|Power semiconductors|MIS structure|Insulating film|Mechanical Stresses|Monitoring

要約(日本語): パワーサイクル劣化を検出するMIS型センサにかかる機械的ストレスにより電気特性が変化する感度を調べた。これまでの研究において、機械的ストレスによる電気特性の変化は確認されているが、センサ感度については明らかになっていない。センサに印加する機械的ストレスを2N,4Nとし、電流変化による感度を調べた。

要約(英語): We report mechanical stress of sensitivity of MIS-type sensors for detection of power cycle degradation. In previous studies, changes in electrical characteristics due to mechanical stress have been demonstrated, but the sensor sensitivity has not been clarified. The mechanical stress sensitivity was measured by various stress of 2N and 4N.

本誌: 2023年10月26日-2023年10月27日電子デバイス/半導体電力変換合同研究会-2

本誌掲載ページ: 71-76 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,169 Kバイト