大気中マイクロギャップにおける放電特性の電極配置・電極材料変化の影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI23078,EWC23027

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料/【B】電力・エネルギー部門 電線・ケ－ブル合同研究会

発行日: 2023/10/30

タイトル(英語): Effect of electrode arrangement and electrode material on discharge characteristics at the micrometer-gap in atmosphere

著者名: 三ツ橋 昂起(兵庫県立大学),比田 悠斗(兵庫県立大学),岡田 翔(兵庫県立大学),上野 秀樹(兵庫県立大学)

著者名(英語): Koki Mitsuhashi(University of Hyogo),Yuto Hida(University of Hyogo),Sho Okada(University of Hyogo),Hideki Ueno(University of Hyogo)

キーワード: マイクロギャップ|絶縁破壊|三重点|仕事関数|気中放電|micrometer-gap|breakdown|triple junction|work function|air discharge

要約(日本語): 半導体微細加工技術の発達に伴い、機器の故障等を防ぐためにマイクロギャップ放電の現象解明は重要である。マイクロギャップでは、紫外線等による初期電子の存在確率が低いことなどから、電極からの電界電子放出が主要な電子供給過程と考えられている。 電界電子放出現象は、電極近傍の電界や電極材料特性に依存する可能性がある。 _x000D_ 　そこで、マイクロギャップでの各電極配置・材料における放電現象について調査した。_x000D_

要約(英語): In micrometer-gap, the probability of the existence of initial electrons due to ultraviolet light, etc., is low, so an electron source is important, and one of these is field electron emission. Field electron emission can be affected by changing the electric field near the electrodes and electrode materials. Therefore, we investigated discharge phenomena in each electrode arrangement and material in the micrometer-gap.

本誌: 2023年11月2日誘電・絶縁材料/電線・ケ－ブル合同研究会

本誌掲載ページ: 65-70 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,592 Kバイト