グレースケール露光とイオン照射による磁性積層膜の磁気特性制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG23090

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2023/11/10

タイトル(英語): Control of magnetic properties in multilayers by grayscale lithography and ion irraidation

著者名: 大島 大輝(名古屋大学),加藤 剛志(名古屋大学)

著者名(英語): Daiki Oshima(Nagoya university),Takeshi Kato(Nagoya university)

キーワード: イオン照射|グレースケール露光|磁性積層膜|Ion irradiation|Grayscale lithography|Magnetic multilayer

要約(日本語): 膜面内方向の磁気特性変調がスキルミオンのダイナミクス制御や無磁場スピン軌道トルクに有効であることが報告されている。本研究では、膜面内方向の磁気特性変調をグレースケール露光とイオン照射により実現すべく、磁性積層膜上にレジストを形成し、レジストを通して積層膜にイオン照射したときの磁気特性の変化を調べ、磁気特性をレジスト膜厚により制御できることを示した。

要約(英語): For the purpose of lateral modulation of magnetic properties in magnetic multilayers by grayscale lithography and ion irradiation techniques, we investigated the change in the magnetic property by the ion irradiation through a photoresist formed on the multilayer and showed that the magnetic property could be controlled by the resist thickness.

本誌: 2023年11月13日マグネティックス研究会

本誌掲載ページ: 25-27 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,310 Kバイト