金属／ガラスへの電圧印加によるガラス内金属析出現象および金流入現象の解明

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM23003

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2023/11/19

タイトル(英語): Metal precipitation and gold inflow phenomena in glass by applying voltage to metal / glass

著者名: 川村 拓史(長岡技術科学大学),松坂 壮太(千葉大学大学院),原 圭祐(長岡技術科学大学),磯部 浩已(長岡技術科学大学)

著者名(英語): Hirofumi Kawamura(Nagaoka University of Technology),Souta Matsusaka(Chiba University),Keisuke Hara(Nagaoka University of Technology),Hiromi Isobe(Nagaoka University of Technology)

キーワード: ガラス|銀析出物|イオン交換法|金|陽極接合|Glass|Silver precipitates|Ion exchange|Gold|Anodic bonding

要約(日本語): ガラスの特殊加工法として，固体イオン交換法が存在する．本手法によって銀イオンを添加したガラスに対し，高温下で電圧を印加すると，ガラス内に銀の樹状結晶が形成することが知られている．本研究では，このガラス内金属析出現象を利用し，ガラスへの微細穴加工を検討した．また，異種金属にて析出現象を考察するため，金を用いたところ，析出現象とは異なる現象を発見した．

要約(英語): It is known that silver dendritic crystals precipitate in glass when the voltage is applied to silver ion doped glass. In this study, we attempted the glass hole processing with silver precipitates and wet etching. In addition, we used gold to examine the precipitation phenomenon, and found a different phenomenon.

本誌: 2023年11月22日-2023年11月23日電子材料研究会

本誌掲載ページ: 7-9 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,033 Kバイト