PZT圧電薄膜の振動発電応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM23005

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2023/11/19

タイトル(英語): Piezoelectric vibration energy harvesting using PZT thin films

著者名: 神野 伊策(神戸大学),寺本 大葵(神戸大学),Kweon SangHyo(神戸大学)

著者名(英語): Isaku Kanno(Kobe University),Daiki Teramoto(Kobe University),SangHyo Kweon(Kobe University)

キーワード: 圧電|薄膜|振動発電|ＰＺＴ

要約(日本語): PZT薄膜を用いた圧電振動発電素子の特徴を紹介する。発電性能の最大化させるため、PZT薄膜をエピタキシャル成長させ、その結晶構造、圧電性および振動発電特性を測定した。また、プロトタイプ発電素子として、ステンレス箔上に成膜した多結晶PZT薄膜を用いた発電デバイスを試作、大変形にも耐えうる圧電発電素子の発電特性を評価した。

要約(英語): The characteristics of piezoelectric vibration energy harvesters using PZT thin films are introduced. The first topic is the epitaxial PZT thin films for high power density and the second topic is the prototype power generators using polycrystalline PZT thin films on metal foils.

本誌: 2023年11月22日-2023年11月23日電子材料研究会

本誌掲載ページ: 13-16 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,202 Kバイト