溶液塗布熱分解法による酸化バナジウム薄膜の作製と高感度pHセンサー応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM23012

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2023/11/19

タイトル(英語): Fabrication of vanadium oxide thin films by a chemical solution deposition method and its applications for pH sensor with high-sensitivity

著者名: 楯 凱貴(大阪工業大学),道端 涼(大阪工業大学),山本 青依(大阪工業大学),熊代 良太郎(東北大学),広藤 裕一(大阪工業大学),小池 一歩(大阪工業大学),廣芝 伸哉(大阪工業大学)

著者名(英語): Yoshiki Tate(Osaka Institute of Technology),Ryo Michibata(Osaka Institute of Technology),Aoi Yamamoto(Osaka Institute of Technology),Ryotaro Kumashiro(TOHOKU UNIVERSITY),Yuichi Hirofuji(Osaka Institute of Technology),kazuto Koike(Osaka Institute of Technology),Nobuya Hiroshiba(Osaka Institute of Technology)

キーワード: ｐＨセンサー|酸化バナジウム|拡張ゲートＦＥＴ|pH sensor|vanadium oxide|EGFET

要約(日本語): 我々は，人間の汗や涙などの体液の組成を高感度で測定可能なセンサーの開発を目指している．本研究ではバイオセンサーの基礎となるpHセンサー材料として酸化バナジウムに注目した．溶液塗布熱分解法により酸化バナジウム薄膜を拡張ゲート(EG)電極に用いたnチャネルMOSFETによるEGFET型pHセンサーを試作した．また，試作したEGFET型pHセンサーのpH変化に対する応答を調査したので詳細について報告する．

要約(英語): Our final goal of this study is to develop a biosensor with high sensitivity utilizing human body fluids such as sweat and tears. In this study, we focused on vanadium oxide as a basic pH sensing material for biosensors. We fabricated a prototype extended gate (EG) FET-type pH sensor using an n-channel MOSFET with a thin vanadium oxide film as an EG electrode fabricated by a chemical solution deposition method. The response of the prototype EGFET-type pH sensor to pH change was investigated.

本誌: 2023年11月22日-2023年11月23日電子材料研究会

本誌掲載ページ: 43-45 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,016 Kバイト