溶液プロセスで作製したLaドープIn2O3薄膜トランジスタのCO2センシング特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM23020

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2023/11/19

タイトル(英語): CO2 sensitivity in solution-processed La-doped In2O3 thin-film transistors

著者名: 小林 亮太(工学院大学),野寺 歩夢(工学院大学),永井 裕己(工学院大学),相川 慎也(工学院大学)

著者名(英語): Ryota Kobayashi(Kogakuin University),Ayumu Nodera(Kogakuin University),hiroki Nagai(Kogakuin University),Shinya Aikawa(Kogakuin University)

キーワード: 溶液プロセス|薄膜トランジスタ|二酸化炭素|ガスセンサー|酸化インジウム|ランタン|solution process|thin-film transistors|carbon dioxide|gas sensor|indium oxide|lanthanum

要約(日本語): 近年，様々な分野で高精度なCO2センシングが求められている．各種検出方式の中で，薄膜トランジスタ（TFT）型ガスセンサーは，低コスト化や小型化の点で優位性が高い．また，溶液プロセスを用いた作製したTFTは簡便性や溶液の組成制御が容易であることから近年注目されている．しかし，溶液TFTを用いた CO2ガスセンサーの報告がない．本研究では，溶液プロセスで作製したLaドープIn2O3TFTによるCO2センシング特性のLa濃度依存性を評価する．

要約(英語): CO2 sensing is demanded for various fields recently. Among various types of detection methods, thin-film transistors-type gas sensor is useful in terms of cost effectiveness and size miniaturization. In this study, we fabricated solution-processed La-doped In2O3 TFTs with different La concentrations, and investigated their CO2 sensitivity.

本誌: 2023年11月22日-2023年11月23日電子材料研究会

本誌掲載ページ: 69-72 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,102 Kバイト