MOD法によるガラス基板上へのZr添加VO?薄膜の作製と特性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM23021

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2023/11/19

タイトル(英語): Deposition and characterization of Zr doped VO2 thin films on glass by MOD

著者名: 扶川 泰斗(大阪工業大学),桑山 智大(大阪工業大学),橋本 慶(大阪工業大学),荒武 大心(大阪工業大学),廣芝 伸哉(大阪工業大学),小池 一歩(大阪工業大学),和田 英男(大阪工業大学)

著者名(英語): Taito Fukawa(Osaka Institute of Technology),Chihiro Kuwayama(Osaka Institute of Technology),kei Hashimoto(Osaka Institute of Technology),Masamune Aratake(Osaka Institute of Technology),Nobuya Hiroshiba(Osaka Institute of Technology),Kazuto Koike(Osaka Institute of Technology),Hideo Wada(Osaka Institute of Technology)

キーワード: 有機金属分解法|二酸化バナジウム|スマートウィンドウ|相転移温度|サーモクロミック|調光率|Metal-organic decomposition|Vanadium dioxide |Smart window|Phase transition temperature|Thermochromic|Dimming rate

要約(日本語): 二酸化バナジウム(VO2)は，結晶相転移によるサーモクロミック特性を利用したサーモクロミックガラスへの応用が期待されている。本研究では，有機金属分解法(MOD法)を用いてVO2薄膜を作製し，Vよりも大きなイオン半径を持ち，電気陰性度の低いZrを不純物として添加してVO2のバンドギャップを拡張し，可視光透過率(Tlum)の向上ならびに相転移温度(Tc)の低温化を図った。

要約(英語): Vanadium dioxide (VO2) is one of the candidate materials for thermochromic glass applications. In this study, we fabricated Zr-doped VO2 thin films expected to expand VO2 band gap using the metal-organic decomposition method, since Zr has a larger ionic radius and lower electronegativity than V atom. As a result, the visible light transmittance (Tlum) and the lower phase transition temperature (Tc) in Zr-doped VO2 were confirmed compared to pristine VO2 thin film.

本誌: 2023年11月22日-2023年11月23日電子材料研究会

本誌掲載ページ: 73-76 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,157 Kバイト