レーザアニール法による金微粒子の作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM23022

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2023/11/19

タイトル(英語): Fabrication of gold nanoparticles by using laser annealing method

著者名: 熊谷 昌城(舞鶴工業高等専門学校),久木 弘成(舞鶴工業高等専門学校),内海 淳志(舞鶴工業高等専門学校)

著者名(英語): Masaki Kumagai(National Institute of Technology, Maizuru College),Hironari Kyuki(National Institute of Technology, Maizuru College),Atsushi Utsumi(National Institute of Technology, Maizuru College)

キーワード: レーザアニール|表面プラズモン共鳴|ショットキーフォトダイオード|Laser annealing|Surface plasmon resonance|Schottky photodiode

要約(日本語): ショットキー接合型フォトダイオードの受光感度の向上を目的として，表面プラズモンフィルタを開発している．本研究では，ショットキー電極と表面プラズモンフィルタの一体化を進めるため，シリコン基板上に金薄膜を形成し，局所的でかつ短時間で行えるレーザアニールによる金の微粒子化が可能であるか否かを調べた．結果として，シリコン基板で金微粒子の粒径が大きくなり，粒子密度が低減するなど金の微粒子化が確認された．

要約(英語): We formed a thin gold film on a silicon substrate and investigated the feasibility of localized and rapid laser annealing of gold nanoparticles in order to integrate the Schottky electrode and the surface plasmon filter. As a result, it was confirmed that gold nanoparticles can be formed on silicon substrates.

本誌: 2023年11月22日-2023年11月23日電子材料研究会

本誌掲載ページ: 77-82 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,448 Kバイト