医療用MEMS応用に向けた小型磁石の作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG23166

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2023/12/16

タイトル(英語): Preparation of miniaturized magnets applied to medical MEMS

著者名: 宮原 悠(長崎大学),福田 樹(長崎大学),東 倖主(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),福永 博俊(長崎大学),中野 正基(長崎大学),Qi Chao(東京工業大学),進士 忠彦(東京工業大学)

著者名(英語): Yu Miyahara(Nagasaki university),Itsuki Fukuda(Nagasaki university),Kouske Higashi(Nagasaki university),Akihiro Yamashita(Nagasaki university),takeshi Yanai(Nagasaki university),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki university),Masaki Nakano(Nagasaki university),Ch

キーワード: 小型磁石|低温創製|医療用ＭＥＭＳ|miniaturized magnets|low temperature process|medical MEMS

要約(日本語): 小型磁石の医療用MEMS利用を鑑みると，耐熱性の低い材料(回路素子)との共存に向けて熱処理を必要としない作製法が必要とされる。本研究では、その観点より磁石を作製し、その磁気特性や結晶構造について検討したので報告する。

要約(英語): Given the usage of miniaturized magnets in medical MEMS, preparation process without an annealing is required to coexist the films and materials (circuit devices) with low heat resistance. From the point of view, we prepared magnets and reported magnetic properties together with crystalline structure of each sample.

本誌: 2023年12月19日マグネティックス研究会

本誌掲載ページ: 69-72 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 836 Kバイト