円筒リソグラフィによるチューブ型多軸フォースセンサ機構の形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG23114,MSS23052,BMS23029

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2023/12/17

タイトル(英語): Fabrication of tubular multi-axis force sensor mechanism using cylindrical lithography

著者名: 滝口 創太(山形大学),峯田 貴(山形大学)

著者名(英語): Sota Takiguchi(Yamagata University),Takashi Mineta(Yamagata University)

キーワード: 円筒リソグラフィ|厚膜レジスト|３軸力センサ|ひずみ抵抗|回転スパッタ|Cylindrical lithography|Thick resist|Triaxial forth sensor|Strain-resistance type|Rotationally sputter

要約(日本語): ガイドワイヤへの応用を目指し，先端部の3軸力をひずみ抵抗変化で検出する厚膜レジストSU-8(60 μm厚)の円筒状ビーム構造(φ720μm)を考案し，形成プロセス確立に取り組んだ。円筒面上のSU-8へ平板マスクで投影角90°以内の範囲に露光し，間隔100 μm，開口幅50 μmのビーム構造を形成した。Al/Cu/Cr膜を回転スパッタし，ポジ型レジストを円筒露光（≦10 μm）して，ひずみ抵抗と配線形成に取り組んだ。

要約(英語): A cylindrical deformable beam structure was proposed for attaching a guidewire end-tip. The fabrication process of strain-resistance type three-axial force sensor (O.D. 720 μm) was studied. Using planer photo-mask within 90° projection angle, the precision beam pattern (L/S 50/100 μm) was successfully exposed on the cylindrical SU-8 surface. After an Al/Au/Cr film was rotationally sputtered on the SU-8 structure, strain resistors and electric lines were attempted to form by the cylindrical lithography using a positive resist (<10μm) and metal etching.

本誌: 2023年12月20日-2023年12月21日マグネティックス/マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 1-3 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,447 Kバイト