形状記憶合金シートを用いたMEMS3軸力および硬さセンサの形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG23115,MSS23053,BMS23030

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2023/12/17

タイトル(英語): Fabrication of MEMS 3-axis force and hardness sensor using SMA sheet

著者名: 佐藤 健太郎(山形大学),峯田 貴(山形大学)

著者名(英語): Kentaro Sato(Yamagata university),Takashi Mineta(Yamagata university)

キーワード: 微細加工|形状記憶合金シート|硬さセンサ|貫通エッチング|形状回復力|MEMS|SMA sheet|hardness sensor|through etching|shape recovery force

要約(日本語): 形状記憶合金 (SMA) シートを用いた、3軸力と接触対象の硬さを計測可能なMEMSセンサを構想し、設計および作製を行った。本センサはビーム上に形成したNiひずみ抵抗より力を計測し、SMAの発生力による変位の変化から対象物の硬さを計測する。SMAシートの研磨、配線とポリイミド層の形成および電解エッチングによる貫通加工を行い、センサを形成した。垂直に変位を与え、通電加熱による形状回復力で150mNから420mNへ反力を増大させることができた。

要約(英語): A multi-axis force and hardness MEMS sensor with shape memorial alloy (SMA) sheet was proposed and fabricated. External force is measured with strain resistors on the SMA beams. In addition, object hardness is obtained with deflection change by shape recovery force. The reaction force could increase from 150mN to 420mN by the shape recovery force.

本誌: 2023年12月20日-2023年12月21日マグネティックス/マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 5-7 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,128 Kバイト