極微細薄膜磁気インピーダンス素子の作製とジュール加熱による特性変化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG23119,MSS23057,BMS23034

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2023/12/17

タイトル(英語): Fabrication micromachined thin film magnetoimpedance element and property changes by Joule heating

著者名: 王 子越(岩手大学),菊池 弘昭(岩手大学)

著者名(英語): Ziyue Wang(Iwate University),Hiroaki Kikuchi(Iwate University)

キーワード: 微細加工|磁気インピーダンス|ジュール加熱|薄膜|micromachined|magnetoimpedance|Joule heating|thin film

要約(日本語): 長さ100ミクロン以下で, 素子幅数ミクロンの微細磁気インピーダンス素子を作製し、その特性評価を行った。また、ジュール加熱による特性変化について検討した。mmオーダーの素子長と比較すると変化量は小さいが、インピーダンス変化が実現でき、ジュール加熱による特性変化も確認できた。

要約(英語): The thin film MI elements with less than 100 microns length and the width of few microns were fabricated and their properties were examined. The property changes by Joule heating was also examined; although the amount of impedance change was small compared to the element length of the order of mm, the impedance change could be realized and the characteristic change by Joule heating was also confirmed.

本誌: 2023年12月20日-2023年12月21日マグネティックス/マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 25-28 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,795 Kバイト