スリット入り高周波駆動薄膜磁界センサの高感度化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG23120,MSS23058,BMS23035

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2023/12/17

タイトル(英語): Coplanar Line Type Thin Film Magnetic Field Sensor with Narrow Slits

著者名: 薮上 信(東北大学),鈴木 椋太(東北大学),本多 順一(東北大学),TON THAT LOI(東北大学),沖田 和彦(Tohoku-TMIT)

著者名(英語): Shin Yabukami(Tohoku University),Ryota Suzuki(Tohoku University),Junichi Honda(Tohoku University),Loi Ton-That(Tohoku University),Kazuhiko Okita(Tohoku-TMIT Co., Ltd)

キーワード: 磁性薄膜スリット|インピーダンス整合|高周波|コプレーナ型薄膜磁界センサ|narrow slits|Impedance matching|High Frequency|coplanar line-type thin-film magnetic field sensor

要約(日本語): 磁性薄膜にスリットを設けた高周波駆動薄膜磁界センサにおけるインピーダンス整合について検討し,電磁界解析および実測を行うことで本手法の有効性を確認した.

要約(英語): Our group has proposed the coplanar line-type thin-film magnetic field sensor, which consists of amorphous CoNbZr and SrTiO thin films. However, the sensor has severe reflection because of impedance mismatch. In this paper, we analyzed the impedance matching and the enhancement of sensitivity and fabricated sensors with narrow slits.

本誌: 2023年12月20日-2023年12月21日マグネティックス/マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 29-32 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,911 Kバイト