低温プロセスによるNd-Fe-B系磁石膜の作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG23170

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2023/12/19

タイトル(英語): Nd-Fe-B film magnets prepared by using low temperature process

著者名: 福田 樹(長崎大学),東 倖主(長崎大学),田原 楽飛(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Itsuki Fukuda(Nagasaki University),Kosuke Higashi(Nagasaki University),Gakuto Tahara(Nagasaki University),Akihiro Yamashita(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)

キーワード: ＬＩＦＴ法|Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ系磁石膜|低温プロセス|ＭＥＭＳ|保磁力|成膜雰囲気|LIFT technique|Nd-Fe-B film magnets|low temperature process|MEMS|coercivity|deposition atmosphere

要約(日本語): Nd-Fe-B系磁石膜のMEMS利用を鑑みると，耐熱性の低い材料(回路素子)との共存に向けて熱処理を必要としない作製法が必要とされる。本研究ではLIFT法を用い、熱処理なしでNd-Fe-B系磁石膜を作製し、その磁気特性や結晶構造について検討したので報告する。

要約(英語): Given the usage of Nd-Fe-B film magnets in MEMS, preparation process without an annealing is required to coexist the films and materials (circuit devices) with low heat resistance. Here, we prepared Nd-Fe-B film magnets by a LIFT technique without an annealing and reported magnetic properties together with crystalline structure.

本誌: 2023年12月22日マグネティックス研究会

本誌掲載ページ: 17-20 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,329 Kバイト