TiZrVコーティング材を陽極とした場合の真空絶縁破壊特性および暗電流特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI24021,EPP24021,HV24021

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料/【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー/【B】電力・エネルギー部門 高電圧合同研究会

発行日: 2024/01/16

タイトル(英語): Breakdown characteristics and dark current characteristics of vacuum gap between TiZrV coating anode and Stainless steel cathode.

著者名: 森岡 七海(埼玉大学),山納 康(埼玉大学/筑波大学),山本 将博(高エネルギー加速器研究機構/筑波大学),多田 涼馬(ー),片桐 創一(筑波大学)

著者名(英語): Nanami Morioka(Saitama University),Yasushi Yamano(Saitama University / University of Tsukuba),Masahiro Yamamoto(Accelerator Research Organization / University of Tsukuba),Ryoma Tada(-),Soichi Katagiri(University of Tsukuba)

キーワード: 絶縁破壊|暗電流|電子刺激脱離|真空|ＮＥＧコーティング|breakdown|dark current|electron-stimulated desorption|vacuum|NEG coating

要約(日本語): 真空中で高電圧を用いる機器では、電子刺激脱離ガスによる微小放電の発生が問題となっている。今回、ESD抑制効果のあるNEG膜を陽極に施した場合の絶縁破壊測定や暗電流測定を行った。その結果、10MΩの保護抵抗を用いることで、絶縁破壊が発生しても耐電圧を低下させることがなく、むしろ耐電圧を上げることが明らかになった。

要約(英語): Micro-discharges due to electron-stimulated desorption(ESD) gas occurred in devices that use high voltages in a vacuum. In this study ESD-suppressive NEG film was applied to the anode, and breakdown tests and dark current measurements were performed. The results showed that the use of a current protection resistance of 10 M? is effective for the vacuum breakdown voltage characteristics.

本誌: 2024年1月19日-2024年1月20日誘電・絶縁材料/放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧合同研究会-2

本誌掲載ページ: 43-48 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,756 Kバイト