PZT/樹脂積層薄膜を翼とする小型飛翔デバイスにおける初期反り抑制

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: TER24036,MSS24006

グループ名: 【D】産業応用部門 交通・電気鉄道/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム合同研究会

発行日: 2024/02/27

タイトル(英語): Reduction of initial warpage of PZT/polymer-lamination flapping wings for miniaturized flying device

著者名: 田中 雄樹(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Yuki Tanaka(University of Hyogo),Kensuke Kanda(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: ＭＥＭＳ|小型飛翔デバイス|圧電薄膜|圧電薄膜／樹脂積層構造|反り制御|MEMS|Miniaturized flying device|Piezoelectric thin films|Piezoelectric thin film/polymer lamination structure|Reduction of warpage

要約(日本語): 飛行機能を有するセンシングシステムを指向し，圧電薄膜を持つ小型飛翔デバイス開発を行った。圧電体と樹脂の薄膜積層構造により大変形羽ばたき運動を実現可能であるが，先行研究では，羽構造体の初期反りによって所望の変位量を得ることが出来なかった。そこで本研究では，作製工程の改善と羽構造の変更を行って試作した結果、羽構造体の反り方向や反り量を抑制し，羽構造体の変位量向上に成功した。

要約(英語): To realize flying sensor, piezoelectric thin films are used for the flapping wing structure of the miniaturized flying device. In the previous research, the initial warpage of the flapping wings, which has a lamination structure of PZT/polymer, degrades the resulting deformation of the flapping wings. By overcoming the initial deformation, sufficient deformation can be obtained in this study.

本誌: 2024年3月1日交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会-1

本誌掲載ページ: 33-37 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,860 Kバイト