触覚センサにおけるマイクロカンチレバーの横たわみを利用した多軸せん断力検知

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: TER24037,MSS24007

グループ名: 【D】産業応用部門 交通・電気鉄道/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム合同研究会

発行日: 2024/02/27

タイトル(英語): Multi-axial Shear Force Detection Using Lateral Deflection of Microcantilever in Tactile Sensor

著者名: 佐藤 亮太(新潟大学),村上 健(新潟大学),細川 陽史(新潟大学),水戸部 龍介(新潟大学),安部 隆(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学)

著者名(英語): Ryota Sato(Niigata University),Ken Murakami(Niigata University),Harufumi Hosokawa(Niigata University),Ryusuke Mitobe(Niigata University),Takashi Abe(Niigata Univerisity),Masayuki Sohgawa(Niigata Univerisity)

キーワード: 触覚センサ|カンチレバー|横たわみ検出|ひずみゲージ|Tactile sensor|Cantilever|Lateral deflection detection|Strain gauge

要約(日本語): 我々のグループでは、これまでマイクロカンチレバー3つを弾性樹脂に封止した構造の、多軸方向の力を検出可能な触覚センサを提案している。本研究では、カンチレバーの横たわみ変形により、カンチレバー長手方向に垂直な方向のせん断力を検知することを可能とした。その結果、1つのカンチレバーで2軸のせん断力が検出できるため、使用するカンチレバーを従来より1つ削減でき、検知素子の小型化や高密度化が容易となる。

要約(英語): We have proposed a tactile sensor consisting of three microcantilevers embedded in the elastomer, which can detect multiaxial force. In this study, the lateral deflection deformation of the cantilever enables the detection of shear force in the direction perpendicular to the cantilever longitudinal direction. As a result, since shear force in two axes can be detected with a single cantilever, the number of cantilevers used can be reduced by one compared to the conventional method, which facilitates miniaturization and higher density of the detector element.

本誌: 2024年3月1日交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会-1

本誌掲載ページ: 39-44 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,242 Kバイト