ガラスのレーザー穴加工のレーザー生成音による制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD24004

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2024/03/25

タイトル(英語): Control of laser drilling of glass using laser-generated sound

著者名: 早崎 芳夫(宇都宮大学),三浦 拓真(宇都宮大学)

著者名(英語): Yoshio Hayasaki(Utsunomiya University),Takuma Miura(Utsunomiya University)

キーワード: フェムト秒レーザー|超音波|インプロセス|プロセスモニタリング|femtosecond laser|ultrasocnic |in-process|process monitoring

要約(日本語): レーザー穴加工おいて，ターゲットに対する適切な焦点位置調節は，加工品質や加工スループットの向上のために重要である．焦点位置の適切な調節は，初期および加工中のレーザー照射点の材料形状に依存するため，事前の実験による条件出しやリアルタイムモニタリングにより最適化される．レーザー生成超音波は，照射されるレーザーパラメータと対象物の状態によって劇的に変化し，光学的な不透明材料での観測を可能とするため，深部での加工状況を知る手がかりとなる．本研究では，レーザー穴加工における，レーザー生成音の音圧を変数として，対物レンズの位置を制御し，穴の深さと形状，加工スループットを指標として，その加工特性を評価する．

要約(英語): Femtosecond laser processing is useful for drilling micro holes in many kinds of materials. The laser parameters according to the material should be carefully selected, but the procedure is time-consuming. In this study, the laser-excited sound wave is used for controlling the axial position of the object lens in hole drilling.

本誌: 2024年3月28日光・量子デバイス研究会

本誌掲載ページ: 15-16 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 539 Kバイト