均一なナノ周期構造の形成に向けたフェムト秒レーザーのトップハットビームへの整形と2光束干渉

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD24006

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2024/03/25

タイトル(英語): Two-flat-top-beam interference for formation of homogeneous periodic nanostructures with femtosecond laser pulses

著者名: 住本 武優(東京農工大学),宮地 悟代(東京農工大学)

著者名(英語): Takemasa Sumimoto(Tokyo University of Agriculture and Technology),Godai Miyaji(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: フラットトップビーム|屈折型ビーム整形器|回折光学素子|バイプリズム|フェムト秒レーザー|Flat-top beam|Refractive beam shaper|DOE|Biprism|femtosecond laser

要約(日本語): 屈折型のビーム整形素子を用いてガウスビームをトップハットビームに変換し、矩形のハードアパーチャーを通すことによってビームの断面形状を矩形にした、一連のレンズを使って1/120に縮小像転送した。さらに、レンズ間に回折光学素子とバイプリズムを設置することにより、矩形で均一な強度分布を持った２ビームの高強度fsレーザーパルスを、DLC薄膜表面に集光照射し、周期5.7 μmの均一な干渉パターンを形成した。

要約(英語): We converted Gaussian beam to a square flat-top beam with a refractive beam shaper and a square mask to transfer an image onto the target by a transverse magnification factor of 1/120. Inserting a DOE and a biprism, two square-shape flat-top-beams interfere to form homogeneous grooves on DLC.

本誌: 2024年3月28日光・量子デバイス研究会

本誌掲載ページ: 21-25 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 811 Kバイト