機械的熱雑音計測による圧力センサ開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI24048

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料研究会

発行日: 2024/05/21

タイトル(英語): Pressure measurement by the mechanical-thermal noise of pendulum

著者名: 吉良 敦史(日本航空電子工業),高木 將登(日本航空電子工業),今 紘史(日本航空電子工業),松尾 幸祐(日本航空電子工業),高橋 尋之(日本航空電子工業)

著者名(英語): Atsushi Kira(Japan Aviation Electronics Ind., Ltd.),Masato Takagi(Japan Aviation Electronics Ind., Ltd.),Hiroshi Kon(Japan Aviation Electronics Ind., Ltd.),Kosuke Matsuo(Japan Aviation Electronics Ind., Ltd.),Hiroyuki Takahashi(Japan Aviation Electronics Ind., Ltd.)

キーワード: 圧力計|振子|スクイズフィルム効果|熱雑音|Pressure sensor|Pendulum|Squeeze film effect|Thermal noise

要約(日本語): 可動部と固定部が近接することで流体が各表面に抵抗力をもたらす現象は、スクイズフィルム効果と呼ばれ、振動素子の共振周波数やQ値に寄与することが知られております。本報告では、スクイズフィルム効果が粘性成分として寄与することに着目し、振子の熱雑音を計測することで圧力センサの開発について報告いたします。

要約(英語): The squeeze film effect is a resistance force to surfaces derived from the medium including the air by closing proximity of two mechanical parts. In this presentation, a pressure estimated by the thermal noise in pendulum generated by the squeeze film effect is described, through fabricated and measured precisely applying the technology of servo accelerometers manufactured by our company.

本誌: 2024年5月24日誘電・絶縁材料研究会

本誌掲載ページ: 29-30 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 611 Kバイト