静電気力を用いた顆粒体の微量・定量供給法における供給量の電圧依存性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP24031

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2024/06/03

タイトル(英語): Charging voltage dependency for a feed rate of an electrostatic granules feeder

著者名: 千葉 祐希(山形大学),杉本 俊之(山形大学)

著者名(英語): Yuki Chiba(Yamagata University),Toshiyuki Sugimoto(Yamagata University)

キーワード: 静電気|静電チャック|帯電|放電|高電圧|顆粒体|static electricity|electrostatic chuck|charge|discharge|high voltage|granule

要約(日本語): 顆粒は外力によって砕けやすいため，砕かずに供給できる装置の開発を行っている。開発している装置は針電極へ電圧を印加することでフィルムに顆粒を吸着させる。印加電圧と吸着数の関係を調べ，吸着機構を考察した。

要約(英語): Granules made by fine particles are easily broken by mechanical stress in feeding device. We are developing a device that can feed granules gently without crushing them. In the device the developing, granules are adsorbed on a rotating film charged by corona discharge from a needle electrode. The relationship between the charging voltage and the number of granules was investigated, and the adsorption mechanism was proposed.

本誌: 2024年6月6日-2024年6月7日放電・プラズマ・パルスパワー研究会

本誌掲載ページ: 11-12 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 607 Kバイト