吹付けレーストラック型Ar/N2誘導熱プラズマにおける基板上線状プラズマの回転・振動温度の一様性に対する基板上ガス流量比の影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP24056

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2024/06/03

タイトル(英語): Influence of gas flow rate ratio on the uniformity of rotational and vibrational temperatures in the linear plasma on the substrate in racetrack type Ar/N2 induction thermal plasma with gas blow

著者名: 宮本 匠(金沢大学),田中 康規(金沢大学),中野 裕介(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),川浦 廣(シー・ヴィー・リサーチ)

著者名(英語): Takumi Miyamoto(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yusuke Nakano(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University),Hiroshi Kawaura(CV Research Corporation)

キーワード: 熱プラズマ|表面改質|回転温度|振動温度|レーストラック型|分光観測|Thermal plasma|Surface modification|Rotational temperature|Vibrational temperature|Racetrack type|Spectroscopic observation

要約(日本語): 新開発した吹付けレーストラック型Ar/N2誘導熱プラズマ装置内の基板上線状プラズマに対しAr/N2ガス流量比を変更し分光観測を行った。N2ガス流量比を増加させるとN原子スペクトル強度は横方向80mmの一様性を維持したまま高くなり，一方でN2＋振動温度は維持された。このことから，N2ガス流量比を増加させるとN2がより多く解離し N原子が高濃度で生じ，一様な窒化に有利になりえることがわかった。

要約(英語): Spectroscopic observation was conducted for a newly developed racetrack type Ar/N2 induction thermal plasmas with gas blow at different Ar/N2 gas flow ratios. Increasing N2 gas flow ratio raised the N atom spectral intensity while maintainig the intensity uniformity on the substrate, although the N2+ rotational and vibrational temperatures were almost unchanged. There indicate that increasing N2 gas flow rate leads to more N2 dissociation to have higher concentration of N atoms.

本誌: 2024年6月6日-2024年6月7日放電・プラズマ・パルスパワー研究会

本誌掲載ページ: 105-110 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,206 Kバイト