Ca-Zn-O2混合プラズマを用いたCaZnO薄膜の低温合成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP24058

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2024/06/03

タイトル(英語): Low temperature synthesis of CaZnO thin film by Ca-Zn-O2 mixture plasma

著者名: 佐藤 直幸(茨城大学),キュゾビック ティホミール(茨城大学),石田 大輝(茨城大学),保坂 恭平(茨城大学)

著者名(英語): Naoyuki Sato(Ibaraki University),Tihomir Cuzovic(Ibaraki University),Daiki Ishida(Ibaraki University),Kyouhei Hosaka(Ibaraki University)

キーワード: カルシウム金属|亜鉛|酸素|プラズマ|フルスペクトラム|透明導電膜|Calcium-metal|Zinc|Oxygen|plasma|full-spectrum|tcf

要約(日本語): フルスペクトル透明導電膜の合成に向けて，深紫外光透過のCaO薄膜をプラズマ合成して，導電性付与の可能性有無を検証する実験を進めている．今回は，数μm厚までのCaO薄膜が得られ，プラズマ密度をはじめとする合成条件の変化により，バンドギャップが，3.3から5.0 eV程度まで連続的に調整できることが判明した．この過程で，CaOへのZnドーピング，格子間Caの生成，及び，O→Ca置換を招き，キャリヤ生成が起こり得る可能性を実験的に明らかにしていく．

要約(英語): In order to synthesize full-spectrum transparent conductive films, we have been conducting experiments to verify the possibility of adding conductivity to CaO thin films with deep UV light transmission. In this study, CaO thin films up to several micrometers thick were obtained, and it was found that the band gap can be continuously tuned from 3.3 to 5.0 eV by changing the plasma density and other synthesis conditions. In this process, we will experimentally clarify the possibility of Zn doping into CaO, formation of interstitial Ca, and O→Ca substitution, which may lead to the formation of electron carriers.

本誌: 2024年6月6日-2024年6月7日放電・プラズマ・パルスパワー研究会

本誌掲載ページ: 117-122 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,313 Kバイト