圧電MEMS-BAWジャイロのための単結晶PZT-Siディスク共振子の設計とプロセス開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS24031

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2024/07/01

タイトル(英語): Design and Process Development of Monocrystalline PZT-Si Disk Resonator for Piezoelectric MEMS-BAW Gyroscope

著者名: 岩田 侑次郎(芝浦工業大学),吉田 慎哉(芝浦工業大学)

著者名(英語): Yujiro Iwata(Shibaura Insitute of Technology),Shinya Yoshida(Shibaura Institute of Technology)

キーワード: 圧電ＭＥＭＳ|チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）|単結晶ＰＺＴ薄膜|共振子|圧電ＢＡＷジャイロ|バルク弾性波（ＢＡＷ）|Piezoelectric MEMS|Lead zirconate titanate (PZT)|Thin film monocrystalline PZT|Resonator|Piezo BAW gyroscope|Bulk acoustic wave (BAW)

要約(日本語): 近年、外乱に強く、広帯域を実現する圧電型MEMSバルク音響波（BAW）ジャイロスコープが開発されている。静電型と比較して作製工程が単純であり、大きな信号雑音（SN）比も確保できる。先行研究では、AlNが圧電薄膜として用いられたが、これを単結晶PZTに置き換えることができれば、さらに大きなSN比を得られることが期待できる。そこで本研究では、単結晶PZTを搭載したSiディスクBAW共振子の設計と加工プロセスの開発を行った。

要約(英語): MEMS bulk acoustic wave (BAW) gyroscopes can provide excellent robustness against disturbances. Among them, the piezoelectric types can be fabricated more simply, provide a wider bandwidth, and offer higher signal-to-noise ratios (SNR) compared to capacitive types. We developed a Si disk BAW resonator using single-crystal PZT to further enhance the SNR.

本誌: 2024年7月4日-2024年7月5日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 1-6 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,902 Kバイト