振動容量型センサの短時間厳密検出理論とシミュレーション

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS24032

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2024/07/01

タイトル(英語): Theory and simulation of exact short-time detecting scheme of vibrating reed electrometer

著者名: 安藤 繁(東京大学)

著者名(英語): Shigeru Ando(University of Tokyo)

キーワード: 振動容量|センサ|電位計|検出|微分方程式|時間周波数領域|vibrating capacitor|sensor|electrometer|detection|differential equation|time-frequency domain

要約(日本語): 振動容量型センサは，非常に高い入力抵抗の電位検出により，振動機構と回路を一体化したMEMSセンサ，Kelvinプローブや原子間力顕微鏡など，現代でも他に置換困難な性能と機能を提供している。発表では，従来法の問，新理論の基礎とアルゴリズムの提示，高時間分解能の電位と電位変化率の検出シミュレーション結果を示す。

要約(英語): This paper presents an exact algorithm to obtain the source potential from AC voltage waveforms across the vibrating capacitor. In it, a differential equation model of the electrometer is converted to algebraic equations of short-time Fourier coefficients, shich provide the estimate of potentials in every temporal segments. Theoretical details and several simulations will be shown.

本誌: 2024年7月4日-2024年7月5日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 7-12 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,808 Kバイト