表面応力と分子質量の同時計測に向けた光干渉型マルチモーダルセンサの提案

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS24041

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2024/07/01

タイトル(英語): Proposal of an optical interferometric multimodal sensor for simultaneous measurement of surface stress and molecular mass

著者名: 十亀 龍星(豊橋技術科学大学),Tan Wen En(豊橋技術科学大学),阪上 天斗(豊橋技術科学大学),崔 容俊(豊橋技術科学大学),野田 俊彦(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Ryusei Sogame(Toyohashi University of Technology),Wen En Tan(Toyohashi University of Technology),Takato Sakagami(Toyohashi University of Technology),Yong Joon Choi(Toyohashi University of Technology),Toshihiko Noda(Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology),Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 表面応力センサ|共振質量センサ|バイオマーカ|微小電気機械システム|ファブリペロー干渉|surface stress sensor|resonant mass sensor|biomarker|microelectromechanical systems|fabry-Perot interference

要約(日本語): 提案する光干渉型応力・質量マルチモーダルセンサは、中空構造上にParylene-Cを自立膜として形成し、自立膜を共振させる電極構造を一体化したセンサである。これにより、同一のセンサ上で標的分子の吸着応答を表面応力と質量変化の異なる物理量変化として検出することが可能となる。作製したデバイスは共振周波数が2.78 MHzとなり質量感度はおよそ0.182 fg/Hzと示唆された。また、本研究ではデバイス作製時のリフトオフの検討も行ったため報告する。

要約(英語): We proposed a multimodal biosensor that integrates a flexibly deformable parylene-C film as a freestanding film on a microcavity formed on a Si substrate, and an electrode structure to resonate the freestanding film. The device fabricated in this study was demonstrated to resonate at 2.78 MHz, indicating a mass sensitivity of 0.182 fg/Hz.

本誌: 2024年7月4日-2024年7月5日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 47-52 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,483 Kバイト