封止エラストマがＭＥＭＳ触覚センサの空間感度分布に与える影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS24047

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2024/07/01

タイトル(英語): Effect of Elastomer Encapsulation on The Spatial Sensitivity Distribution of MEMS Tactile Sensors

著者名: 瀧沢 真史(新潟大学),細川 陽史(新潟大学),安部 隆(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学)

著者名(英語): Masafumi Takizawa(Niigata University),Harufumi Hosokawa(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University),Masayuki Sohgawa(Niigata University)

キーワード: ＭＥＭＳ|触覚センサ|マイクロカンチレバー|エラストマ|荷重分布計測|MEMS|tactile sensor|cantilever|elastomer|force distribution measurement

要約(日本語): 我々はカンチレバーをPDMSエラストマで封止した構造の触覚センサの開発を進めており、先行研究では荷重の空間分布計測を目指して感度の荷重印加位置に対する依存性を調べた。本研究では、さらにエラストマの厚みや硬度の変化、あるいはエラストマを積層構造とした場合の荷重印加位置に対する感度依存性や検出範囲を評価した。その結果、硬度は感度の大きさに、厚みや層構造はそれに加えて検出範囲に影響することが分かった。

要約(英語): In this work, the effects of elastomer thicknesses, hardnesses, and bilayer structures on the sensitivity dependence of the tactile sensor on the position of force application and the detection range were characterized. As a result, it was found that hardness affects the magnitude of sensitivity, while thickness and layer structure additionally affect the detection range.

本誌: 2024年7月4日-2024年7月5日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 77-82 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,757 Kバイト