広角マイクロピラミッド構造を有するMEMSトライボ発電デバイスの作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS24053

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2024/07/01

タイトル(英語): Fabrication of a MEMS Triboelectric Nanogenerator with wide-angle micro-pyramidal structures

著者名: 伊藤 史弥(群馬大学),村上 晃一(群馬大学),田中 有弥(群馬大学),年吉 洋(東京大学),鈴木 孝明(群馬大学)

著者名(英語): Fumiya Ito(Gunma University),Koichi Murakami(Gunma University),Yuya Tanaka(Gunma University),Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo),Takaaki Suzuki(Gunma University)

キーワード: ＴＥＮＧ|エナジーハーベスティング|プリズムアシスト３次元リソグラフィ|微細構造|摩擦帯電|ＭＥＭＳ|TENG|Energy harvesting|Prism-assisted 3D lithography| Microstructure|Triboelectrification|MEMS

要約(日本語): 我々はこれまでに，摩擦帯電現象において，その接触界面構造による発電波形の変化を検討してきた．本研究では，従来よりも広角の微細ピラミッドアレイを作製する方法を提案し，その発電特性について検討した．プリズムアシスト3次元リソグラフィを用いてレジストへ入射する光の角度を制御し，45度以上の斜面を有するピラミッドアレイが作製できた．垂直接触分離モードでの，微小入力荷重による発電性能を評価した．

要約(英語): In this study, we propose a fabrication method for a micro-pyramid array with a wide-angle for triboelectrification. By using a prism-assisted 3D lithography, we fabricated a micro-pyramid array with a slope of more than 45 degrees. The power generation was evaluated by applying a small input load in the vertical contact-separation mode.

本誌: 2024年7月4日-2024年7月5日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 107-109 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,260 Kバイト