荷重ベクトル計測のための触覚センサの全方位荷重に対する応答評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS24054

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2024/07/01

タイトル(英語): Evaluation of Omni-Directional Tactile Sensor for Force Vector Measurement

著者名: 水戸部 龍介(新潟大学),高橋 佑司(新潟大学),安部 隆(新潟大学),野間 春生(立命館大学),寒川 雅之(新潟大学)

著者名(英語): Ryusuke Mitobe(Niigata University),Yuji Takahashi(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University),Haruki Noma(Ritsumeikan University),Masayuki Sohgawa(Niigata University)

キーワード: 触覚センサ|ＭＥＭＳ|カンチレバー|荷重ベクトル|ひずみゲージ|重量センサ|Tactile sensor|MEMS|Cantilever|Force vector|Strain gauge|Weight sensor

要約(日本語): 本研究では微小カンチレバー型MEMS触覚センサを用いた荷重ベクトル計測のため、封止エラストマ半球に対する全方位からの荷重印加試験を行った。結果、センサ感度はカンチレバーと半球突起との相対的位置関係や半球突起上の荷重の3次元極座標位置に依存することが示された。これより、荷重印加位置とセンサ感度との関係性を予め測定することで、センサへの印加荷重の位置とその大きさが高精度に推定可能であることが示された。

要約(英語): In this study, load application tests from all directions to a microcantilever-type MEMS tactile sensor were conducted. As a result, it was shown that the position and magnitude of the applied load to the sensor can be estimated with high accuracy by measuring the relationship between the applied load position and the sensitivity of the sensor in advance.

本誌: 2024年7月4日-2024年7月5日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 111-116 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,306 Kバイト