アルミナ基板上の酸化クロム膜の表面形状が二次電子放出係数に与える影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP24060,SA24028,SP24001

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー/【B】電力・エネルギー部門 静止器/【B】電力・エネルギー部門 開閉保護合同研究会

発行日: 2024/08/02

タイトル(英語): Influence of the surface morphology of chromium oxide coatings applied to alumina substrates on the secondary electron emission yield

著者名: 小倉 暁雄(筑波大学),片桐 創一(筑波大学),野木 広光(筑波大学),蓮沼 隆(筑波大学)

著者名(英語): Akio Ogura(University of Tsukuba),Souichi Katagiri(University of Tsukuba),Hiromitsu Nogi(University of Tsukuba),Ryu Hasunuma(University of Tsukuba)

キーワード: 酸化クロム|表面抵抗率|Ｘ線回折|光電子分光|二次電子放出係数|chromium oxide|surface resistivity|x-ray diffraction|photo electron emission spectroscopy|secondary electron emission yield

要約(日本語): 酸化クロムは絶縁物と比べて抵抗値、および二次電子放出係数（SEEY）が小さいため、絶縁物表面の正帯電抑制や耐圧向上のために利用されている。しかし、抵抗値とSEEYの制御性に関する詳細な報告はない。本研究は、Cr金属をアルミナ基板上に成膜し、酸化温度を制御することで異なる抵抗値をもつ酸化クロム膜が得られることを確認した。また酸化クロム膜の結晶粒サイズがSEEYに影響を及ぼしていることを確認した。

要約(英語): We measured the surface morphology and the secondary electron emission yield (SEEY) of alumina coated with chromium oxide as well as the morphology and the Cr oxidation state of coatings on silicon. It was found that the SEEY strongly depends on the grain size of chromium oxide, which can be controlled by the oxidation temperature.

本誌: 2024年8月5日-2024年8月6日放電・プラズマ・パルスパワー/静止器/開閉保護合同研究会-1

本誌掲載ページ: 1-4 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,377 Kバイト