低気圧誘導結合放電によるMg-不活性ガス混合プラズマの生成とMg薄膜の合成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP24061,SA24029,SP24002

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー/【B】電力・エネルギー部門 静止器/【B】電力・エネルギー部門 開閉保護合同研究会

発行日: 2024/08/02

タイトル(英語): Generation of Mg-inert gas mixture plasma and Mg thin film synthesis

著者名: 佐藤 直幸(茨城大学),キュゾビック ティホミール(茨城大学),石田 大輝(茨城大学),保坂 恭平(茨城大学)

著者名(英語): Naoyuki Sato(Ibaraki University),Tihomir Cuzovic(Ibaraki University),Daiki Ishida(Ibaraki University),Kyouhei Hosaka(Ibaraki University)

キーワード: マグネシウム金属|不活性ガス|酸素|プラズマ|フルスペクトラム|透明導電膜|Magnesium metal|inert gas|oxygen|plasma|full-spectrum|TCF

要約(日本語): Arガス20 sccm導入時の無電極高周波放電の内部で，Mg蒸気量が増すにつれてアーク状の強い発光が観察された．その周辺の石英ガラス上には，可視光透過のバンドギャップが6 eV以上で100 Ω/□台の透明導電性を示すMg金属薄膜が得られた．更なる低抵抗化を狙い，Mg薄膜の初期成長に及ぼす不活性ガス種の効果を観察している．

要約(英語): Strong arc-like luminescence was observed inside the electrodeless high-frequency discharge when 20 sccm of Ar gas was introduced, as the amount of Mg vapor increased. On the surrounding quartz glass, a transparent conductive Mg metal thin film was obtained with a band gap of more than 6 eV for visible light transmission and a conductivity in the 100 Ω/sq range. The effect of inert gas species on the initial growth of Mg ultra-thin films is being observed with the aim of further lowering the resistivity.

本誌: 2024年8月5日-2024年8月6日放電・プラズマ・パルスパワー/静止器/開閉保護合同研究会-1

本誌掲載ページ: 5-9 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,557 Kバイト