二層セラミックス下地層付きSi基板上Nd-Fe-B系厚膜磁石の作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG24053

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2024/08/05

タイトル(英語): Preparation of Nd-Fe-B thick-film magnets on Si Substrates with ceramics two-underlayers

著者名: 山口 明華(長崎大学),山下 史宏(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Haruka Yamaguchi(Nagasaki University),Fumihiro Yamashita(Nagasaki University),Akihiro Yamashita(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)

キーワード: ＰＬＤ法|Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ系厚膜磁石|Ｓｉ基板|セラミックス下地層|ＭＥＭＳ|微細着磁|pulsed laser deposition (PLD) method|Nd-Fe-B thick-film magnets|Si substrate|ceramics underlayer|microelectromechanical systems(MEMS)|micro-magnetization

要約(日本語): 我々は、PLD法によりSi基板上にガラスやアルミナを下地層としたNd-Fe-B系厚膜磁石の開発を行ってきた。ガラス下地層付き試料は微細着磁に成功したが，J-Hループの角型性は既報の金属基板上の試料に比べ劣る。アルミナ下地層付き試料において角型性の向上を実現したが，機械的破壊を起こし脆弱性が課題である。そこで堅牢性と磁気特性を両立する二層（ガラス/Al-O）下地層について検討したので報告する。

要約(英語): We previously developed thick Nd-Fe-B films on Si substrates with glass or Al-O underlayer using PLD method. Although micro-magnetization could be achieved in the samples with a glass underlayer, the squareness of a hysteresis loop deteriorated. The squareness could be improved by using an Al-O layer, however the sample was brittle. Here, usage of ceramics two-underlayers comprising of a glass and an Al-O layer was applied.

本誌: 2024年8月8日-2024年8月9日マグネティックス研究会

本誌掲載ページ: 19-23 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,506 Kバイト